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超精密Micor系列顯微線掃相機
產(chǎn)品尺寸：199.1H * 135D * 205Wmm
有效寬度：6,14,28mm
清 晰 度：9600/19200/38400dpi
像素大小：0.66um/1.32um/2.65um
線掃速率：3.57kHz
焦距范圍：±0.1mm
工作距離：52.4/70.2mm
數(shù)據(jù)接口：USB3.0
主要應(yīng)用：晶圓表面， 太陽能電池板，硅晶片等
