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真空鍍膜機加裝 Polycold
真空鍍膜機(濺鍍、蒸鍍)一般使用油擴散泵抽真空,腔體內會殘留大量水汽和油蒸汽,不但影響抽真空的時間,水汽和油蒸汽還是鍍膜工件主要的污染源,從而影響鍍膜產品的產量和質量。真空鍍膜設備通過加裝上海伯東代理的美國 Polycold 冷凍機(水汽深冷泵)在真空度 10-2 至 10-8 mabr 之間快速吸附真空腔內殘余水汽和油氣,真空抽氣時間縮短 75%,企業產能可增加 20% 到 100%,Polycold 冷凍機目前已廣泛加裝在光馳 Optorun、新柯隆 Shincron、萊寶 Leybold 真空鍍膜機。
上海伯東 Polycold 冷凍機利用新型無毒環保型冷媒,可完全替代目前液氮 LN2 冷凍法。與傳統 LN2 冷卻法對比,冷媒可循環使用,更加降低了企業成本。與高溫烘烤方法對比,高溫烘烤只是把水分子從基片表面遷移,使基片減少對水蒸氣的吸附,但是水蒸氣還是存在于腔體內,依然影響抽氣效率。Polycold 冷凍機是將 90% 以上的水分子吸附在低溫盤管(Cryocoil)的表面,同時吸附掉真空腔內部分油分子,如果在真空腔水冷阱的上面放置 Polycold 冷阱,不僅能吸抽水汽還可以防止擴散泵返油。
目前在售 Polycold 型號:
型號 |
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最大負載 Watts |
4,000 |
2,500 |
1,000 |
1,500 |
3,600 |
抽水汽效率 l/s |
220,000 |
140,000 |
50,000 |
70,000 |
200,000 |
極限真空 mbar |
7 x 10-8 |
1 x 10-9 |
3x10-9 |
8x10-9 |
4x10-8 |
* Polycold PFC-1102 HC 已經停產,替代型號 MaxCool 4000 H
美國 Brooks 旗下 Polycold 冷凍機(水汽深冷泵),超過40年的冷凍機研發及制造經驗。Polycold 冷凍機輔助抽真空,在真空度 10-2 至 10-8 mabr 之間快速吸附真空腔內殘余水汽和油氣,幫助企業顯著提升產能和鍍膜質量。Polycold 冷凍機廣泛應用于鍍膜和半導體廠商。上海伯東是美國 Polycold 冷凍機中國地區唯一指定總代理,全權負責 Polycold 銷售和售后維修服務。